| 課程名稱 |
微機電製程技術簡介
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| 課程編碼 |
10D30601
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| 開課班級 |
四技自控三甲, 四技自控三乙, 四技奈米三甲, 四技奈米三乙, 四技車輛三甲, 四技車輛三乙
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| 開課教師 |
陳韋志
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| 學分 |
3.0
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| 時數 |
3
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| 上課節次地點 |
(一4,E0503) (一5,E0503) (一6,E0503)
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| 必選修 |
選修
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| 課程概述 |
讓學生對於微機電技術有總體的概念，其市場應用與理論基礎的範圍，之後再細部解說微奈米加工製程的介紹。
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| 課程目標 |
使學生了解微機電技術，包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、其他特殊製程技術。
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| 課程大綱 |
1.微機電介紹
2.微機電之應用與市場
3.無塵室介紹
4.半導體之微機電製造
5.微影技術
6.薄膜沉積
7.濕蝕刻技術
8.乾蝕刻技術
9.特殊加工製程技術
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| 英文大綱 |
1. Introduction of MEMS
2. Introduction to MEMS Applications and Marketing
3. Introduction of Cleanroom
4. MEMS-Fabrication for Semiconductor
5. Lithography
6. Thin Film Deposition
7. Wet Etching Technology
8. Dry Etching Technology
9. LIGA Process
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| 教學方式 |
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| 評量方法 |
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| 指定用書 |
微機電系統與微系統設計與製造
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| 參考書籍 |
微機電技術-張志誠-商週出版
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| 先修科目 |
無
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| 教學資源 |
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| 注意事項 |
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| 全程外語授課 |
0
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| 授課語言1 |
華語
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| 授課語言2 |
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| 輔導考照1 |
無
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| 輔導考照2 |
無
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