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南台科技大學
102學年度第2學期課程資訊
 
課程名稱 微機電製程技術簡介
課程編碼 10D30601
開課班級 四技自控三甲, 四技自控三乙, 四技奈米三甲, 四技奈米三乙, 四技車輛三甲, 四技車輛三乙
開課教師 陳韋志
學分 3.0
時數 3
上課節次地點 (一4,E0503) (一5,E0503) (一6,E0503)
必選修 選修
課程概述 讓學生對於微機電技術有總體的概念,其市場應用與理論基礎的範圍,之後再細部解說微奈米加工製程的介紹。
課程目標 使學生了解微機電技術,包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、其他特殊製程技術。
課程大綱 1.微機電介紹
2.微機電之應用與市場
3.無塵室介紹
4.半導體之微機電製造
5.微影技術
6.薄膜沉積
7.濕蝕刻技術
8.乾蝕刻技術
9.特殊加工製程技術
英文大綱 1. Introduction of MEMS
2. Introduction to MEMS Applications and Marketing
3. Introduction of Cleanroom
4. MEMS-Fabrication for Semiconductor
5. Lithography
6. Thin Film Deposition
7. Wet Etching Technology
8. Dry Etching Technology
9. LIGA Process
教學方式
評量方法
指定用書 微機電系統與微系統設計與製造
參考書籍 微機電技術-張志誠-商週出版
先修科目
教學資源
注意事項
全程外語授課 0
授課語言1 華語
授課語言2
輔導考照1
輔導考照2
請同學尊重智慧財產權,使用正版教科書,不得非法影印,以免觸犯智慧財產權相關法令
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