| 課程名稱 |
微機電系統
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| 課程編碼 |
14D02201
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| 開課班級 |
四技奈米三甲
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| 開課教師 |
莊承鑫
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| 學分 |
3.0
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| 時數 |
3
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| 上課節次地點 |
(四5,K304) (四6,K304) (四7,K304)
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| 必選修 |
必修
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| 課程概述 |
讓學生對於微機電系統有總體的概念，其市場應用與理論基礎的範圍，之後再針對微加工製程進行介紹，包括光學微影製程、微機電材料科學、體型微細加工、面型微細加工、封裝測試等。
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| 課程目標 |
微機電系統技術有別於半導體平面製造技術，自1980年代微小化之製程技術發達，使機械微小化的夢想得以實現，發展出多樣的感測器與致動器，微機電系統為一跨領域整合的技術，電子、電機、機械、生物、醫學、航太、化工、材料均可應用微機電技術，於微觀的領域創新。
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| 課程大綱 |
1. 微機電系統之簡介
2. 微機電系統之應用與市場
3. 微影技術
4. 薄膜沉積
5. 蝕刻技術
6. 封裝接合技術
7. 其他微製造技術
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| 英文大綱 |
1. Introduction to MEMS
2. Introduction to MEMS Applications and Marketing
3. Lithography
4. Thin film deposition
5. Wet etching
6. Dry etching
7. LIGA Process
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| 教學方式 |
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| 評量方法 |
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| 指定用書 |
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| 參考書籍 |
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| 先修科目 |
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| 教學資源 |
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| 注意事項 |
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| 全程外語授課 |
0
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| 授課語言1 |
華語
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| 授課語言2 |
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| 輔導考照1 |
無
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| 輔導考照2 |
無
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